ガス供給システム

1. バルクガスシステムの定義:

不活性ガスの保管と圧力制御 ガスの種類：代表的な不活性ガス（窒素、アルゴン、圧縮空気など）

パイプラインサイズ: 1/4 (モニタリングパイプライン) から 12 インチのメインパイプラインまで

システムの主な製品は、ダイヤフラムバルブ/ベローズバルブ/ボールバルブ、高純度コネクタ（VCR、溶接フォーム）、フェルールコネクタ、圧力調整弁、圧力計などです。

現在、新しいシステムには、保管と輸送に固定ガスボンベまたはタンクローリーを使用するバルク特殊ガスシステムも含まれています。

2. 浄化システムの定義:

高純度ガスパイプラインのバルクガスからの不純物の除去

3. ガスキャビネットの定義:

特殊なガス源 (有毒ガス、可燃性ガス、反応性ガス、腐食性ガス) の圧力制御と流量監視を提供し、ガスシリンダーを交換する機能を備えています。

場所：特殊ガスを保管するサブファブフロアまたは最下階に設置 発生源：NF3、SF6、WF6など

パイプライン サイズ: 内部ガス パイプライン、プロセス パイプラインの場合は通常 1/4 インチ、主に高純度窒素パージ パイプラインの場合は 1/4 ～ 3/8 インチ。

主な製品：高純度ダイヤフラムバルブ、逆止弁、圧力計、圧力計、高純度コネクタ（VCR、溶接フォーム） これらのガスキャビネットには基本的にボンベの自動切り替え機能が含まれており、継続的なガス供給とボンベの安全な交換を保証します。