1. バルクガスシステムの定義：
不活性ガスの貯蔵および圧力制御 ガスの種類: 代表的な不活性ガス (窒素、アルゴン、圧縮空気など)
パイプラインサイズ: 1/4インチ（監視パイプライン）から12インチのメインパイプラインまで
システムの主な製品は、ダイヤフラムバルブ/ベローズバルブ/ボールバルブ、高純度コネクタ（VCR、溶接フォーム）、フェルールコネクタ、圧力調整弁、圧力計などです。
現在、新システムには、固定式ガスボンベやタンクローリーを使用して貯蔵・輸送するバルク特殊ガスシステムも含まれています。
2. 浄化システムの定義：
高純度ガスパイプライン用バルクガスからの不純物除去
3. ガスキャビネットの定義：
特殊なガス源（有毒ガス、可燃性ガス、反応性ガス、腐食性ガス）の圧力制御と流量監視を提供し、ガスボンベを交換する機能も備えています。
場所: サブファブ階または特殊ガスの保管用最下階にあります。発生源: NF3、SF6、WF6 など。
パイプラインのサイズ: 内部ガス パイプライン。通常、プロセス パイプラインの場合は 1/4 インチ、主に高純度窒素パージ パイプラインの場合は 1/4 ～ 3/8 インチ。
主な製品: 高純度ダイヤフラムバルブ、チェックバルブ、圧力計、圧力計、高純度コネクタ(VCR、溶接フォーム) これらのガスキャビネットには基本的に、継続的なガス供給とシリンダーの安全な交換を確保するためのシリンダーの自動切り替え機能が含まれています。
4. 配布定義:
ガス源をガス収集コイルに接続する
ライン サイズ: チップ工場では、バルク ガス分配パイプラインのサイズは通常 1/2 インチから 2 インチの範囲です。
接続形式: 特殊ガスパイプラインは通常、溶接によって接続され、機械的な接続やその他の可動部品は使用されません。これは主に、溶接接続が強力な密閉信頼性を備えているためです。
チップ工場では、ガスを輸送するために数百キロメートルのチューブが接続されており、基本的に長さ約6メートルで溶接されています。チューブの曲げや管状の溶接接続も非常に一般的です。
5. 多機能バルブボックス（バルブマニホールドボックス、VMB）定義：
ガス源からさまざまな機器の端に特殊なガスを分配することです。
内部パイプラインサイズ：1/4インチのプロセスパイプライン、および1/4～3/8インチのパージパイプライン。システムはコンピュータ制御を採用しており、必要に応じてアクチュエータ付きバルブを使用するか、手動バルブを使用することでコストを削減できます。
システム製品：高純度ダイヤフラムバルブ/ベローズバルブ、チェックバルブ、高純度ジョイント（VCR、マイクロ溶接フォーム）、圧力調整弁、圧力計、圧力ゲージなど。一部の不活性ガスの分配には、ガスディスク表面が開いており、密閉空間設計や追加の窒素パージを必要としないバルブマニホールドパネル-VMP（多機能バルブディスク）が主に使用されます。
6. セカンダリバルブプレート/ボックス（ツールフックアップパネル）の定義：
半導体装置に必要なガスをガス源から装置側に接続し、適切な圧力調整を行います。このパネルは、VMB（多機能バルブボックス）よりも装置側に近い位置にあるガス制御システムです。
ガスパイプラインのサイズ: 1/4 - 3/8インチ
液体パイプラインサイズ: 1/2 - 1インチ
排出パイプラインサイズ: 1/2 - 1インチ
主な製品：ダイヤフラムバルブ/ベローズバルブ、ワンウェイバルブ、圧力調整弁、圧力計、圧力ゲージ、高純度ジョイント（VCR、マイクロ溶接）、フェルールジョイント、ボールバルブ、ホースなど。
投稿日時: 2024年11月22日