I. はじめに
私の国の発展とともに半導体コア製造産業における高純度ガスパイプライン高純度ガスパイプラインはますます普及しています。半導体、エレクトロニクス、医療、食品などの産業では、程度の差はあれ、高純度ガスパイプラインが使用されています。そのため、高純度ガスパイプラインの建設も当社にとってますます重要になっています。
2. 適用範囲
このプロセスは、主に電子機器および半導体工場におけるガスパイプラインの敷設・試験、および薄肉ステンレス鋼製ガスパイプラインの溶接に適しています。また、製薬、食品などの工場におけるクリーンパイプラインの建設にも適しています。
3. プロセス原理
プロジェクトの特性に応じて、建設は3つのステップに分けられ、各ステップは厳格な品質および清浄度検査を受けなければなりません。第1ステップはパイプラインのプレファブリケーションです。清浄度要件を満たすため、パイプラインのプレファブリケーションは通常、1000レベルのプレファブリケーションルームで行われます。第2ステップは現場設置です。第3ステップはシステムテストです。システムテストでは、主にパイプライン内の粉塵粒子、露点、酸素含有量、炭化水素含有量を検査します。
4. 主な施工ポイント
（１）工事前の準備
1. 建設作業員を組織し、建設に使用する機械や設備を準備する。
2. 清浄度レベル 1000 のプレハブ部屋を構築します。
3. 施工図面を分析し、プロジェクト特性と実際の状況に基づいて施工計画を作成し、技術説明を行います。
（２）パイプラインのプレハブ化
1. 高純度ガスパイプラインは高い清浄度が求められるため、設置現場での溶接作業負荷を軽減し、清浄度を確保するため、パイプライン建設はまず1000番台のプレハブ室でプレハブ化されます。建設作業員は清潔な衣服を着用し、機械や工具を清潔に保ち、建設作業員は強い清潔感を持ち、建設プロセス中のパイプの汚染を最小限に抑える必要があります。
2. パイプの切断。パイプの切断には専用のパイプ切断工具を使用します。切断面はパイプの軸心線に対して完全に垂直になります。パイプを切断する際は、外部の粉塵や空気がパイプ内部に侵入しないよう、適切な措置を講じてください。また、一括溶接を容易にするため、材料をグループ化し、番号を振る必要があります。
3. パイプ溶接。パイプ溶接を行う前に、溶接プログラムをコンパイルし、自動溶接機に入力する必要があります。テスト溶接サンプルは、サンプルが合格した後にのみ溶接できます。1日溶接した後、サンプルは再度溶接できます。サンプルが合格した場合、溶接パラメータは変更されません。これは溶接機に保存され、自動溶接機は溶接中に非常に安定しているため、溶接品質も合格です。溶接品質はマイクロコンピュータによって制御されており、人的要因が溶接品質に与える影響を軽減し、作業効率を向上させ、高品質の溶接を実現します。
4.溶接工程
高純度ガスパイプライン建設
（３）現地設置
1. 現場での高純度ガスパイプラインの設置はきちんと清潔に行う必要があり、設置者は清潔な手袋を着用する必要があります。
2. ブラケットの設置距離は図面の設計要件に準拠する必要があり、各固定点は EP パイプ専用のゴムスリーブで覆われている必要があります。
3. プレハブ配管を現場に搬入する際は、ぶつかったり踏んだりせず、地面に直接置くことも禁止されています。ブラケットを取り付けた後、すぐに配管を固定します。
4. 現場でのパイプラインの溶接手順は、プレファブリケーション段階の手順と同じです。
5.溶接が完了し、関係者が溶接継手サンプルと合格するパイプの溶接継手を検査した後、溶接継手ラベルを貼り付け、溶接記録を記入します。
（4）システムテスト
1. システムテストは、高純度ガス製造における最後のステップです。パイプラインの圧力テストとパージが完了した後に実施されます。
2. システム試験に使用するガスは、まず第一に認定されたガスです。ガスの清浄度、酸素含有量、露点、炭化水素含有量は、要件を満たす必要があります。
3. 指示計の試験は、パイプラインに合格ガスを充填し、出口で計測器を用いて測定することにより行われます。パイプラインから噴出したガスが合格であれば、パイプライン指示計は合格したことになります。
5. 材料
高純度ガスパイプラインでは、循環媒体のプロセス要件に応じて薄肉ステンレス鋼管が一般的に使用され、通常は316L（00Cr17Ni14Mo2）が用いられます。合金元素は主にクロム、ニッケル、モリブデンの3種類です。クロムの存在は、ステンレス鋼の酸化性媒体における耐食性を向上させ、クロムを多く含む酸化膜を形成します。一方、モリブデンの存在は、ステンレス鋼の非酸化性媒体における耐食性を向上させます。耐食性：ニッケルはオーステナイトの形成元素であり、その存在は鋼の耐食性を向上させるだけでなく、鋼のプロセス性能も向上させます。
投稿日時: 2024年4月1日