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電子グレードの高純度ガスパイプラインの紹介

マイクロエレクトロニクス、オプトエレクトロニクス、バイオ医薬品などの業界では、光輝焼なまし(BA)、酸洗いまたは不動態化 (AP)、電解研磨(EP)真空二次処理は一般に、敏感な媒体や腐食性媒体を輸送する高純度でクリーンなパイプライン システムに使用されます。溶解された (VIM+VAR) 製品。
A.電解研磨(エレクトロポリッシュ)はEPと呼ばれます。電解研磨により、表面の形態と構造を大幅に改善し、実際の表面積をある程度減らすことができます。表面は閉じた厚い酸化クロム膜であり、エネルギーは合金の通常のレベルに近く、媒体の量は減少します – 通常は電子グレードに適しています高純度ガス.
B. 光輝アニーリング (Bright Annealing) は BA と呼ばれます。水素化または真空状態での高温熱処理は、一方では内部応力を除去し、他方ではパイプの表面に不動態皮膜を形成して形態構造を改善し、エネルギーレベルを低下させますが、表面粗さを増加します – 通常、GN2、CDA、および非プロセス不活性ガスに適しています。
C. 酸洗および不動態化/化学研磨 (酸洗および不動態化/化学研磨) は、AP および CP と呼ばれます。パイプの酸洗または不動態化は表面粗さを増加させませんが、表面に残っている粒子を除去してエネルギーレベルを低下させることができますが、通常工業グレードのパイプで使用される中間層の数は減少しません。
 
D. 真空二次溶解クリーンチューブ Vim (Vacuum Induction Melting) + Var (Vacuum ArcRemelting) は、V+V と呼ばれ、住友金属株式会社の製品です。真空状態でアーク条件下で再処理することにより、耐食性と面粗度の向上に効果を発揮します。度 – 通常、BCL3、WF6、CL2、HBr などの腐食性の高い高純度電子グレードのガスに適しています。

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投稿時間: 2024 年 4 月 8 日