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電子グレードの高純度ガスパイプラインの紹介

マイクロエレクトロニクス、オプトエレクトロニクス、バイオ医薬品などの業界では、光輝焼鈍(BA)、酸洗または不動態化(AP)、電解研磨(EP)真空二次処理は、一般的に、敏感な媒体や腐食性媒体を輸送する高純度でクリーンなパイプラインシステムに使用されます。溶解(VIM+VAR)製品。
A. 電解研磨(Electro-Polished)はEPと呼ばれます。電気化学的研磨により、表面の形態と構造が大幅に改善され、実際の表面積をある程度まで低減できます。表面は閉じた厚い酸化クロム膜で、エネルギーは合金の通常のレベルに近く、媒体の量も減少します。通常、電子グレードに適しています。高純度ガス.
B. 光輝焼鈍(Bright Annealing)はBAとも呼ばれます。水素化または真空状態での高温熱処理により、一方では内部応力が除去され、他方ではパイプ表面に不動態膜が形成され、形態構造が改善され、エネルギーレベルが低下しますが、表面粗さは増加しません。通常、GN2、CDA、および非プロセス不活性ガスに適しています。
C. 酸洗・不動態化処理/化学研磨(酸洗・不動態化処理/化学研磨)は、APおよびCPと呼ばれます。パイプの酸洗または不動態化処理では表面粗さは増加しませんが、表面に残留する粒子を除去し、エネルギーレベルを低下させることができます。ただし、中間層の数は減少しません。これは通常、工業用パイプで使用されます。
 
D. 真空二次溶解清浄管 Vim(真空誘導溶解)+ Var(真空アーク再溶解)、通称V+Vは、住友金属工業株式会社の製品です。真空状態においてアーク条件下で再処理することで、耐食性と表面粗さが効果的に向上します。程度:通常、BCL3、WF6、CL2、HBrなどの高腐食性高純度電子グレードガスに適しています。

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投稿日時: 2024年4月8日